微細加工技術
微細加工技術の種類
ナノインプリンティング
詳細は「en:Nanoimprint lithography」を参照
微細加工によってパターンが刻まれたマスクをウエハーに重ねて転写する事で従来のフォトリソグラフィでの露光プロセスを代替する。
マスクレス リソグラフィ
詳細は「マスクレス リソグラフィ」を参照
パターンが刻まれたマスク使用せずにウエハー上にパターンを形成する。マスクが存在しないのでパターンの形成に柔軟性がある反面、生産性は劣る。
干渉リソグラフィ
詳細は「en:Interference lithography」を参照
コンピューテショナルリソグラフィ
詳細は「en:Computational lithography」を参照
コンタクトリソグラフィ
詳細は「en:Contact lithography」を参照
縮小投影型露光装置(ステッパー)を使用せずにマスクを直接ウエハー上に載せて露光する。初期の集積回路や液晶パネルの露光工程で使用されていたが、集積度の向上やマスク表面に付着した塵が歩留まりに影響を与えるためステッパーによる露光によって置き換えられたが、近年、ステッパーの解像度向上の限界によりナノインプリント リソグラフィによって再登場しつつある。
This article is issued from Wikipedia. The text is licensed under Creative Commons - Attribution - Sharealike. Additional terms may apply for the media files.